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产品名称:

P300A半自动探针台

产品类别:
P300A半自动探针台:
• 数据存储
• 模式识别功能
•局部控制系统:防止长时间测试出现的误差
  • 详细内容

P300A半自动探针台​性能参数:
 

  1. •0.1 micron resolution stage,platen,microscope drive
     
  2. • 台体行程:300mmx300mm(X-Y),x150mm(z-plate)
     
  3. •桥式结构金相显微镜::100X 100mm(X-Y),200mm(Z)
     
  4. •Navigator:stage/platen/theta/microscope的定位控制
     
  5. •Wafer Map:可设置可重复
     
  6. •数据存储
     
  7. •模式识别功能
     
  8. •局部控制系统:防止长时间测试出现的误差
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