P300A半自动探针台

P300A半自动探针台​性能参数：
 

1. •0.1 micron resolution stage,platen,microscope drive
    
2. • 台体行程：300mmx300mm(X-Y),x150mm(z-plate)
    
3. •桥式结构金相显微镜：:100X 100mm（X-Y），200mm（Z）
    
4. •Navigator：stage/platen/theta/microscope的定位控制
    
5. •Wafer Map：可设置可重复
    
6. •数据存储
    
7. •模式识别功能
    
8. •局部控制系统：防止长时间测试出现的误差